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Zubereitung von pyrolytischem Bornitrid

Aug 19, 2020

BornitridDie Materialien werden hauptsächlich durch Warmpressen und Sintern von sechseckigem Bornitridpulver hergestellt, das eine geringe Menge Cosolvent enthält. Diese Methode ist jedoch einfach, Löcher und Verunreinigungen in den sinterten Körper und Anisotropie durch heißes Pressen einzuführen, was ihre Anwendung, insbesondere in Hochtemperatur- und Oxidationsumgebung, einschränkt. Pyrolytische Bornitridmaterialien (PBN) mit hoher Reinheit und hoher Dichte können durch chemische Dampfabscheidung (CVD) und ordnungsgemäße Steuerung von Prozessparametern hergestellt werden. Die mit dieser Methode hergestellten pyrolytischen Bornitrid-Materialien (PBN) weisen eine gute Zerspanbarkeit auf und können die Anwendungsanforderungen erfüllen.

Es gibt viele Faktoren, die die Herstellung von pyrolytischem Bornitrid (PBN) beeinflussen, einschließlich Borstickstoffquelle, Temperatur, Druck und Reaktorstruktur. Die Reaktionsgase zur Bornitridabscheidung lassen sich in zwei Kategorien einteilen: Borquelle + Stickstoffquelle + Trägergas/ Verdünnungsgas; und Verbindungen, die Bor und Stickstoff + Trägergas / Verdünnungsgas enthalten.

Die Abscheidungstemperatur von Bornitrid kann in einem weiten Bereich variieren (250 °C - 2300 °C). Generell gilt: Je höher die Temperatur, desto besser ist die Kristallinität von Bornitrid. Der Druck der BN-Abscheidung variiert von 1 bis 760 Torr. Die Abscheidungssubstrate können poröse Substrate wie Übergangsmetalle, Strukturkeramik, elektronische Keramik, Glas, Graphit und Keramikpartikel sein.

Pyrolytische Bornitridmaterialien haben ausgezeichnete physikalische und chemische Eigenschaften. Chemische Dampfabscheidung (CVD) ist eine gute Wahl für die Herstellung hochreines dichtes Boroxidmaterial. Die Struktur, Morphologie und Eigenschaften von pyrolysiertem Bornitrid (PBN) durch chemische Dampfabscheidung (CVD) sind meist dünne Folien, Pulver und andere Formen, während das großflächige Bulk-Bornitrid nur auf pyrolytisches Bornitrid mit hoher Anisotropie beschränkt ist, was die strukturelle Vielfalt von pyrolytischem Bornitrid einschränkt. Daher ist die Forschung zu isotropem pyrolytischem Bornitrid mit hervorragenden mechanischen Eigenschaften relativ geringer. Angesichts der breiten Anwendung von pyrolytischem Bornitrid muss die Aufbereitungstechnologie von pyrolytischen Bornitridmaterialien weiter untersucht werden, insbesondere die Untersuchung des Abscheidungsmechanismus, der eine solide Grundlage für die kontrollierbare Herstellung von pyrolytischem Bornitrid bietet.