Startseite > Ausstellung > Inhalt

Auswahl von Verdampfungsboot und Schmelztiegel in Aluminiumbeschichtung

Mar 13, 2019

Die Wahl des Verdampfungsbootes und des Tiegels beim Beschichten ist eines der Probleme, die bei der Beschichtung häufig auftreten.

Als Nächstes stellen wir die Eigenschaften verschiedener Materialien vor, einschließlich Dichte, Schmelzpunkt, Verdampfungstemperatur, Auswahl des Verdampfungsbootes, Auswahl des Tiegels für die Elektronenstrahlverdampfung und Angelegenheiten, die beim Beschichten Aufmerksamkeit erfordern.

  Das Verdampfungsboot ist aufgrund seines einfachen Aufbaus und seiner bequemen Verwendung die am häufigsten verwendete Verdampfungsquelle. Üblicherweise verwendete Materialien sind Wolfram, Molybdän, Tantal, Niob, Graphit, leitfähiges Bornitrid und andere leitfähige keramische Materialien. Wolfram, Molybdän und Tantal sind aufgrund der Rekristallisation beim Erhitzen auf hohe Temperatur spröde.

Tiegel umfassen Wolfram-Tiegel, Molybdän-Tiegel, Tantal-Tiegel, Kupfertiegel, Graphittiegel, Aluminiumoxidtiegel, leitfähigen Bornitrid-Tiegel und Quarztiegel.


Primärmaterialtabelle für die Beschichtung


Element

Verdampfungstemperatur ℃

Verdampfende Rohstoffe (in der richtigen Reihenfolge)

Bemerkungen

Symbol

Name

Schmelzpunkt

P = 1pa

Thermischer Verdampfungsdraht, Blech

Tiegel zur Elektronenstrahlverdampfung


Ag

Silber

961

1030

Ta , Mo , W

Mo , C

Bei W trat keine Infiltration auf.

AL

Aluminium

659

1220

W

BN TiB2-BN TiC / C, Aluminiumoxidtiegel

Kann mit allen RMs verwendet werden (RM ist ein Metall mit hohem Schmelzpunkt)

 

Es ist schwierig zu verdampfen, wenn eine Legierung hergestellt wird W: Eine kleine Menge Aluminium kann durch Verwendung von dicken Drähten schnell verdampft werden, und sogar dickere Drähte können vielfach verwendet werden. Alle Tiegelmaterialien sind getränkt und lassen sich leicht aus dem Tiegel ausfließen. C: Es kann schnell gelbe Al4C3-Kristalle bilden und kann bei hoher Temperatur gegen Ti, Zr, Ta usw. verwendet werden. Wenn die Nitrierschicht aus diesen Substanzen hergestellt wird, erhöht sich die Lebensdauer. PBN: PBN hat eine lange Lebensdauer. TiB2BN: Leitfähiges Bornitrid kann bearbeitet werden und hat eine lange Lebensdauer. SiO2 kann nicht verwendet werden.

Wie

Arsen

820

280


Al2O3 , SiO2

Giftig, da der Wärmeausdehnungskoeffizient klein ist und daher unter 300 ° C liegen sollte.

Au

Aurum

1063

1400

W , Mo

Mo sten Wolframlegierungstiegel , C

Infiltration W, Mo, Ta: Umformlegierungen, daher nicht für Verdampfungsquelle geeignet. Gewöhnliche Wolfram-Tiegel neigen zum Durchsickern, Wolfram-Tiegel können vermieden werden.

B

Bor

2300

2300


C

Es wurde viel Graphitdampf eingemischt

Ba

Barium

710

610

W, Mo, Ta, Ni, Fe

C

Versagen, Legierungen zu bilden, tränken RM und reagieren mit den meisten Oxiden bei hohen Temperaturen

Sein

Beryllium

1283

1230

W, Mo, Ta

C, ThO2

Die Infiltration RM ist toxisch und auf BeO-Verunreinigungen sollte besonders geachtet werden.

BI

Wismut

270

670

W, Mo, Ta, Ni

Al2O3Andere Keramiken , C , Metall

Dampfvergiftung

C

Kohlenstoff


2600



Graphit selbst sublimiert bei hohen Temperaturen (Lichtbogen, Elektronenstrahl, Laser usw.)

Ca

Kalzium

850

600

W

Al2O3

Leicht zu lösen und in He-Gas zu entgasen

CD

Cadmium

321

265

ChromnickellegierungTa , Fe

Al2O3 , SiO2

Ohne die Infiltration der Chrom-Nickel-Legierung reagiert SiO 2 nicht auf das Lösen und Entgasen in He, ist jedoch nicht für die Verdampfungsquelle geeignet.

Cr

Chrom

约 1900

1400

W

C

Verchromte Wolframdrähte und Crrods sublimieren bei hohen Temperaturen und lösen sich in H2- oder He-Atmosphäre auf den Wolframdrähten auf.

Cu

Cuprum

1084

1260

Mo, Ta, Nb, W

Mo, C, Al 2 O 3

Keine direkte InfiltrationMo, W, Ta

Fe

Ferrum

1536

1480

W

BeO , Al2O3 , ZrO2

Bei der Bildung von Legierungen mit allen RMs beträgt das Verdampfungsmaterial weniger als 30% der W-Linie und kann bei niedriger Geschwindigkeit sublimiert werden, was für EBV geeignet ist.

Ga

30

1130


BeO , Al2O3 , SiO2

Das Oxid auf der linken Seite kann 1000 ° C standhalten.

Ge

940

1400

W.Mo, Ta

C, Al 2 O 3

Geringe Löslichkeit von Wolfram, Infiltration RM, keine Infiltration C

K

Kalium

64

208


Glas


Li

Lithium

179

540


Baustahl


Mg

Magnesium

650

440

W, Ta, Mo

Fe, Cm, Al2O3

Zum Lösen und Entgasen in He kann SiO 2 nicht verwendet werden.

Mn

Mangan

1244

940

W , Mo , Ta

Al2O3 , C

Infiltration von RM

N / a

Natrium

97,7

290


Glas


Ni

Nickel

1450

1530

W

Al 2 O 3 BeO

Es ist geeignet, mit RBV Legierungen mit W, Mo, Ta usw. zu formen.

Pb

Führen

327

715

Fe, Ni, , 镍 合金 , Mo

Fe , Al2O3

Nichtinvasive RM

Si

Silizium

1410

1350


BeO , ZrO2 , ThO2C

Der infiltrierte Oxidtiegel, die SIO-Verdampfung, kontaminierte die Membran, C: Forming SIC ist für EBV geeignet.

Zn

Zink

420

343

W, Ta, Mo

Al 2 O 3, Fe, C, Mo

Tränken von RM, aber keine Legierungsbildung, SiO 2: keine Reaktion, jedoch nicht für die Verdampfungsquelle geeignet.



蒸发舟1小

boronitridecrucible

evaporationboat